वेफर लैपिंग पॉलिशिंग मशीन का उपयोग करके किन सामग्रियों को लैप किया जा सकता है?

वेफर लैपिंग पॉलिशिंग मशीन अर्धचालक विनिर्माण, ऑप्टिकल घटक उत्पादन और अन्य उच्च - सटीक सतह प्रसंस्करण के क्षेत्रों में उपकरणों का एक मुख्य टुकड़ा है। इसका लैपिंग प्रदर्शन चयनित अपघर्षक और लैपिंग टूल सामग्री के उचित मिलान पर निर्भर करता है। नीचे इस उपकरण के लिए उपयुक्त सामग्रियों का विस्तृत विवरण दिया गया है:

अपघर्षक प्रमुख मीडिया हैं जो सीधे काटने में भाग लेते हैं और सामग्री हटाने को सक्षम करते हैं।

एल्यूमिना - आधारित abrasives (al₂o₃)

वे उच्च कठोरता और अच्छे रासायनिक स्थिरता रखते हैं, जिससे वे बहुमुखी अपघर्षक बन जाते हैं। किसी न किसी लैपिंग और सेमी - के लिए उपयुक्त धातु सामग्री जैसे कि कठोर स्टील और कच्चा लोहा। वेफर लैपिंग पॉलिशिंग मशीनों में, एल्यूमिना अपघर्षक का उपयोग अक्सर प्रसंस्करण चरणों में किया जाता है, जिन्हें उच्च सतह के समतलपन की आवश्यकता होती है, लेकिन अंतिम दर्पण खत्म की मांग नहीं करते हैं।

कार्बाइड - आधारित abrasives (जैसे, सिलिकॉन कार्बाइड (SIC), बोरॉन कार्बाइड (B₄C))

इन अपघर्षकों में बहुत अधिक कठोरता और मजबूत पहनने का प्रतिरोध होता है। सिलिकॉन कार्बाइड का उपयोग मुख्य रूप से कांच, सिरेमिक, और गैर - फेरस मेटल्स जैसी कठोर और भंगुर सामग्री को संसाधित करने के लिए किया जाता है; दूसरी ओर, बोरान कार्बाइड का उपयोग कठिन सामग्री (जैसे सीमेंटेड कार्बाइड और हार्ड क्रोम कोटिंग्स) को लैप करने के लिए किया जाता है। इस प्रकार का अपघर्षक उच्च सामग्री हटाने की दर को सक्षम करता है।

डायमंड - आधारित अपघर्षक

प्रकृति में सबसे कठिन पदार्थ के रूप में, डायमंड अपघर्षक सुपर - कठिन सामग्री के प्रसंस्करण के लिए पहली पसंद है। वेफर लैपिंग पॉलिशिंग मशीनों के रफ प्रोसेसिंग (Lapping) चरण में, हीरे के अपघर्षक का उपयोग व्यापक रूप से सेमीकंडक्टर वेफर्स (जैसे, सिलिकॉन वेफर्स, सिलिकॉन कार्बाइड वेफर्स), सिंथेटिक जेमस्टोन, सेरामिक्स, आदि के लिए किया जाता है, जो उच्च - सटीक प्लानर प्रसंस्करण की अनुमति देता है।

अन्य सामान्य अपघर्षक

सेरियम ऑक्साइड (CEO₂): एक उच्च - उत्कृष्ट रासायनिक यांत्रिक पॉलिशिंग (CMP) प्रदर्शन के साथ गुणवत्ता पॉलिशिंग अपघर्षक। यह हल्के रासायनिक कार्रवाई और यांत्रिक घर्षण के संयोजन के माध्यम से एक अत्यधिक उच्च सतह खत्म प्राप्त करता है, और अक्सर सिलिकॉन वेफर्स और ग्लास सब्सट्रेट के अंतिम पॉलिशिंग के लिए उपयोग किया जाता है।

सिलिका (Sio₂) कोलाइड: आमतौर पर अल्ट्रा - के लिए CMP प्रक्रिया में उपयोग किया जाता है, सिलिकॉन, सिलिका परतों और धातु की परतों (जैसे, कॉपर इंटरकनेक्ट्स) के ठीक चमकाने। इसमें न्यूनतम हटाने की राशि है और यह उत्कृष्ट सतह की गुणवत्ता प्रदान करता है।

लैपिंग टूल (पॉलिशिंग प्लेट्स के रूप में भी जाना जाता है) प्रमुख घटक हैं जो वर्कपीस और अपघर्षक रखते हैं, और गति को प्रसारित करते हैं। उनकी सामग्रियों का चयन सीधे संसाधित सतह के सपाटता और खत्म को प्रभावित करता है।

लोहे की लैपिंग उपकरण

उच्च सामग्री कठोरता, पहनने के प्रतिरोध और घने संरचना के साथ, कच्चा लोहा लैपिंग उपकरण आसानी से अपघर्षक अनाज को एम्बेड करते हैं और अच्छे सपाटता को बनाए रख सकते हैं। वे मुख्य रूप से धातु सामग्री जैसे कि कठोर और अनिश्चित स्टील भागों और कच्चा लोहा भागों जैसे लैपिंग के लिए उपयुक्त हैं, और वेफर लैपिंग पॉलिशिंग मशीनों में धातु सब्सट्रेट को चपटा करने के लिए एक सामान्य विकल्प हैं।

पीतल/टिन लैपिंग उपकरण

इन लैपिंग टूल में अपेक्षाकृत नरम बनावट होती है और अक्सर इसका उपयोग नरम धातु सामग्री (जैसे, एल्यूमीनियम, तांबे के मिश्र धातुओं) या पॉलिश पैड के लिए आधार सामग्री के रूप में किया जाता है। नरम लैपिंग उपकरण सटीक वर्कपीस की सतह पर खरोंच को रोक सकते हैं और व्यापक रूप से अंतिम पॉलिशिंग चरण में उपयोग किए जाते हैं।

पॉलिमर सिंथेटिक लैपिंग टूल्स (पॉलिशिंग पैड)

आधुनिक वेफर लैपिंग पॉलिशिंग मशीनों, विशेष रूप से सीएमपी प्रक्रिया में उपयोग किए जाने वाले, आमतौर पर पॉलीयूरेथेन जैसे बहुलक सामग्री से बने पॉलिशिंग पैड का उपयोग करते हैं। इस सामग्री में लोच, पोरसिटी और पहनने के प्रतिरोध की एक निश्चित डिग्री होती है, और यह बेहतर स्टोर और ट्रांसपोर्ट पॉलिशिंग तरल पदार्थ को स्टोर कर सकती है। यह वैश्विक प्लानराइजेशन को प्राप्त करने के लिए एक मुख्य तत्व है।

एक वेफर लैपिंग पॉलिशिंग मशीन के प्रदर्शन को अधिकतम करने के लिए लैपिंग सामग्री के उपयुक्त संयोजन का चयन करना महत्वपूर्ण है:

रफ प्रोसेसिंग (Lapping): एक उच्च सामग्री हटाने की दर को आगे बढ़ाने के लिए, उच्च कठोरता (जैसे, हीरा, बोरान कार्बाइड) के साथ अपघर्षक को अक्सर कच्चा लोहा जैसे हार्ड लैपिंग टूल के साथ जोड़ा जाता है।

फिनिशिंग/पॉलिशिंग: एक अल्ट्रा - चिकनी सतह, ठीक और नरम अपघर्षक (जैसे, सेरियम ऑक्साइड, सिलिका कोलाइड) को प्राप्त करने के लिए नरम या सिंथेटिक पॉलिशिंग पैड के साथ जोड़ा जाना चाहिए।

इसलिए, एक उच्च - प्रदर्शन वेफर लैपिंग पॉलिशिंग मशीन पूर्ण - को पूरा कर सकता है - प्रोसेस प्रोसेसिंग की जरूरतों को उबड़ -खाबड़ करने से लेकर अल्ट्रा - सटीक पॉलिशिंग के लिए अपघर्षक और लैपिंग टूल के लचीले कॉन्फ़िगरेशन के माध्यम से सटीक पॉलिशिंग, यह उच्च - प्रीक्शन घटक के लिए उपकरण का एक आदर्श टुकड़ा बनाती है।

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